電(diàn)子級氫氧化鉀純級分類有哪些區別
氫氧化(huà)鉀化學式:KOH,又(yòu)名苛性鉀、苛性堿、鉀灰。外觀為白色粉末狀(zhuàng)固體(tǐ),用(yòng)途十分廣(guǎng)泛(fàn),多用(yòng)於幹燥、電(diàn)鍍、化工原料。純品的氫(qīng)氧化鉀為白色的(de)斜方(fāng)結晶,而工業品則多(duō)為白色或淡灰色的塊狀或棒狀固體(tǐ)。
電子級氫氧(yǎng)化鉀可分為(wéi)UP—S級、UP級、EL級三類:
1、UP-S級:適用0.35-0.8微米集成電(diàn)路加工工藝,金(jīn)屬雜(zá)質含量小於1ppb,經過(guò)0.05微米孔徑過濾器過濾,控製0.2微米粒子,在100級淨(jìng)化環境中灌裝達到SEMI C8標(biāo)準。
2、UP級:適用1微米集成電路及TFT-LCD製造工藝,金屬雜質含量小於10ppb,經(jīng)過0.2微米孔徑過濾器過濾,控製0.5微米粒子,在100級淨化環境(jìng)中灌裝,達到SEMI C7標準
3、EL級(jí):金屬雜質含量小於100ppb,控製1微米粒徑(jìng)粒子,達到SEMI C1 C2標準,適合中小規模集成電路及電子(zǐ)元件加工工藝。
電子級氫氧(yǎng)化鉀純度要求十分高,主要應用於製備電子設備,尤其是近年來微小化電子設備的發展,對(duì)電子級(jí)試劑(jì)的應用就顯得尤為重要。
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